①离子束流强
　　即能够获得的有用离子束的等效电流强度，用电流单位A或mA表示。
　　②有用离子百分比
　　即有用离子束占总离子束的百分比。一般来说，离子源给出的总离子束包括单电荷离子、多电荷离子、
　　各种分子离子和杂质元素离子等的离子束。
　　③能散度
　　由于离子的热运动和引出地点的不同，使得离子源给出的离子束的能量对要求的单一能量有一定离散，一般希望能散度尽量小，在高精度的离子束应用中尤其是这样。
　　④束的聚焦性能
　　以离子束的截面和张角表示。聚焦不好的离子束在传输过程中会使离子大量丢失。获得良好聚焦特性的离子束的最终障碍是束中离子之间的静电排斥力，为了克服这一障碍，应尽早使离子获得较高能量。
　　⑤离子源的效率
　　以离子束形式引出的工作物质占总消耗的工作物质的比例。
　　⑥工作寿命
　　离子源一次安装以后使用的时间。