射频电源根据采用的功率放大器类型不同，可分为晶体管射频电源(又称为固态射频电源)与电子管射频电源。
　　晶体管射频电源(固态射频电源)，在90年代末开始被引进中国，由于晶体管射频电源(固态射频电源)相对于电子管电源具有体积小，使用寿命更长，功率控制更精密，功率输出更稳定，频率精度更高，开机无需预热等优点。在小功率领域(小于2000W)，正逐步取代电子管射频电源。
　　电子管射频电源，开始流行于80年代中期，由于电子管射频电源在抗驻波比方面要明显优于后来流行的晶体管射频电源(固态射频电源)，因此在大功率(大于2000W)应用领域，仍被广泛应用。