射频电源目前主要被用来在低压或常压下产生等离子体。由于不同气体的等离子体具有不同的化学性能，如氧气的等离子体具有很高的氧化性，能氧化光刻胶反应生成气体，从而达到清洗的效果，如半导体设备中的去胶机；腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性，这样就能满足刻蚀的需要，如半导体设备中的刻蚀机。
　　射频电源已广泛应用于半导体工艺设备；LED与太阳能光伏产业；科学实验中的等离子体发生；射频感应加热；医疗美容；常压等离子体消毒清洗等。